消息面上，中芯国际在上海举行18A晶圆生产线量产仪式，宣布国内首条18A先进制程晶圆生产线正式量产，这标志着中国在高端晶圆制造领域取得重大突破，打破了英特尔、台积电在18A制程领域的垄断，填补了国内先进制程晶圆生产的空白。据悉，该生产线总投资超2000亿元，年产能可达50万片12英寸晶圆，主要用于生产Al芯片、高端处理器、存储芯片等产品，投产后将大幅降低国内电子企业对海外晶圆制造的依赖，推动国内半导体产业链自主可控。

中国银河证券指出，半导体设备行业高景气度的长期逻辑仍有较强的确定性。此前，中芯国际在业绩说明会上表示，2026年底月产能增量预计为折合12英寸4万片，为我国半导体设备企业提供了较为稳定的业绩增量空间。

截至2026年3月19日 14:09，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)成分股方面涨跌互现，金宏气体领涨8.08%，华海诚科上涨1.95%，中船特气上涨1.61%；和林微纳领跌。科创半导体设备ETF鹏华(589020)最新报价1.3元。

流动性方面，科创半导体设备ETF鹏华盘中换手3.63%，成交1962.75万元。拉长时间看，截至3月18日，科创半导体设备ETF鹏华近1年日均成交6167.20万元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年2月27日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、拓荆科技、中科飞测、沪硅产业、芯源微、安集科技、华峰测控、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比73.19%。

内容来源：有连云