5月5日，上交所披露了中微公司科创板上市申请审核问询函及公司的回复。问询函围绕中微公司的股权结构、董监高基本情况、发行人核心技术、发行人业务、公司治理与独立性、财务会计信息与管理层分析等6大方面，问询了52个问题。

中微公司回复称，董事会为公司最高权力机构，董事会形成决议至少需取得董事会全体成员过半数的同意。最近2年，公司不存在对发行人董事会、股东大会产生决定性影响的实际控制人。