截至2026年3月6日 10:16，科创半导体ETF（588170）下跌0.12%，半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.21%。
截至2026年3月6日 09:51，中证半导体材料设备主题指数(931743)上涨0.18%，半导体设备ETF易方达(159558)上涨0.19%，截至3月5日，半导体设备ETF易方达(159558)近3月累计上涨23.41%。
相关产品：半导体设备ETF易方达（159558），联接A/C（021893/021894）
截至2026年3月5日11:03，涨超2.9%，半导体设备ETF华夏(562590)近3月涨幅排名可比基金头部。
截至2026年3月5日 10:39，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨2.97%，半导体设备ETF易方达(159558)上涨2.86%，盘中换手3.34%，成交1.74亿元。
截至2026年3月5日 09:36，科创半导体ETF（588170）上涨2.16%，半导体设备ETF华夏（562590）上涨2.59%。
截至2026年3月4日 14:54，科创半导体ETF（588170）下跌1.04%，半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.75%。
截至2026年3月4日14:43，成交额超2亿元，半导体设备ETF易方达(159558)连续3天净流入。
截至2026年3月4日 14:09，科创半导体ETF（588170）下跌1.22%，半导体设备ETF华夏（562590）下跌1.18%。
截至2026年3月4日13:39，成交额超2亿元，半导体设备ETF易方达(159558)连续3天净流入。
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