截至2026年5月20日13:55，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨5.38%，成分股上海合晶涨停，中科飞测上涨18.67%，中芯国际上涨13.83%，拓荆科技，中船特气等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨5.06%，冲击4连涨。

半导体设备股持续走高，中科飞测、拓荆科技盘中涨超10%，消息面上，长鑫科技2026年Q1的炸裂业绩，叠加长江存储启动IPO辅导，标志着国内存储双雄从朦胧扩产期跨入明牌扩张期。当前定价并未充分反映“十五五”期间存储年扩产中枢达20万片的长期成长空间，以及扩产行情延续至2028-2029年的景气长度。

此外，AI算力爆发拉动晶圆厂扩产，半导体零部件作为设备核心基底迎来景气上行与国产替代双击。财通证券指出，全球零部件市场高度集中，国内整体国产化率仅约7.1%，但在静电卡盘、射频电源、气体模组等关键环节已实现突破，富创精密等企业深度绑定下游龙头，进入放量阶段，成长空间广阔。

数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约59%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。

内容来源：有连云