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南大光电：公司ArF光刻胶目前主要集中在90nm-28nm制程工艺验证

日期： 2023-03-21 15:23

3月21日，南大光电(300346.SZ)在互动平台表示，公司ArF光刻胶目前主要集中在90nm-28nm制程工艺的验证，产品质检主要依靠公司购置的光刻机及其他辅助检测设备。

#南大光电 #ArF光刻胶

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