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日期： 2024-05-30 16:08

5月30日，国林科技(300786.SZ)在互动平台表示，公司电子级超纯臭氧气体发生器可产生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧，臭氧在电子工业领域可被广泛用于形成CVD和ALD薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用；公司暂未涉及光刻机业务。

#国林科技 #光刻机

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