截至2026年3月16日 13:56，中证半导体材料设备主题指数(931743)上涨0.93%，成分股华峰测控上涨4.92%，江化微上涨4.91%，上海新阳上涨4.77%。半导体设备ETF万家(159327)盘中涨超1%。
截至2026年3月16日 13:25，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨1.31%，半导体设备ETF易方达(159558)上涨1.21%，盘中换手5.9%，成交3.04亿元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本。
截至2026年3月6日 09:51，中证半导体材料设备主题指数(931743)上涨0.18%，半导体设备ETF易方达(159558)上涨0.19%，截至3月5日，半导体设备ETF易方达(159558)近3月累计上涨23.41%。
天弘中证半导体材料设备指数（A类：021532；C类：021533）跟踪半导体材料设备主题，受益AI芯片与HBM需求爆发，2026年亚洲半导体资本支出或破1360亿美元。
截至2026年3月5日 10:39，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨2.97%，半导体设备ETF易方达(159558)上涨2.86%，盘中换手3.34%，成交1.74亿元。
截至2026年3月2日 13:50，中证半导体材料设备主题指数(931743)下跌1.38%。成分股方面涨跌互现，拓荆科技领涨4.67%，晶升股份上涨3.30%，雅克科技上涨1.52%。
半导体设备ETF易方达（159558）近14日净流入3.19亿元，近1年涨71.54%，居同类前2；跟踪中证半导体材料设备主题指数（931743），费率最低、跟踪误差仅0.017%。
截至2026年2月27日 13:58，中证半导体材料设备主题指数(931743)下跌2.40%。成分股方面涨跌互现，有研新材领涨1.98%，联动科技上涨0.93%，珂玛科技上涨0.43%。
截至2026年2月27日 13:29，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌2.19%。成分股方面涨跌互现，欧莱新材领涨6.26%，富创精密上涨0.64%，晶升股份上涨0.08%。
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